Case

問題解決事例

問題解決事例

  問い合わせ内容 セラミックピン/CVD装置のコストダウン
  業種 素材
  テーマ 品質・性能向上
  装置名 セラミックビン/CVD装置
  製品名 001
  ポイント
φ0.8の細長いアルミナ製のピンでウェハーを
突き上げる製品だが、何かの拍子ですぐに折れてしまうとのこと
◎アルミナジルコニアに変更(脆性の向上)
◎ピンホルダーを取り外し可狽ノ設計変更
  開発部品
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