Case
問題解決事例
問題解決事例
問い合わせ内容 | セラミックピン/CVD装置のコストダウン | |||
業種 | 素材 | |||
テーマ | 品質・性能向上 | |||
装置名 | セラミックビン/CVD装置 | |||
製品名 | 001 | |||
ポイント | φ0.8の細長いアルミナ製のピンでウェハーを 突き上げる製品だが、何かの拍子ですぐに折れてしまうとのこと ◎アルミナジルコニアに変更(脆性の向上) ◎ピンホルダーを取り外し可狽ノ設計変更 |
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開発部品 イメージ1 |
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問い合わせ内容 | セラミックピン/CVD装置のコストダウン | |||
業種 | 素材 | |||
テーマ | 品質・性能向上 | |||
装置名 | セラミックビン/CVD装置 | |||
製品名 | 001 | |||
ポイント | φ0.8の細長いアルミナ製のピンでウェハーを 突き上げる製品だが、何かの拍子ですぐに折れてしまうとのこと ◎アルミナジルコニアに変更(脆性の向上) ◎ピンホルダーを取り外し可狽ノ設計変更 |
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開発部品 イメージ1 |
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