Case

問題解決事例

問題解決事例

  問い合わせ内容 搬送トレーCVD装置のコストダウン、熱伝導の向上、幕厚均一性
  業種 電気・精密
  テーマ コスト削減
  装置名 搬送トレー/CVD装置
  ポイント
SUS+SiCコート製カーボン製に変更
1SUS同等以上の熱伝導性があるカーボン材の存在が最初から頭にあったので...
2耐久性を考え厚みを加えた形で再設計
  評価および感想
180%近くのコストダウンに成功
2膜厚の安定性も良好
3大幅な重量軽減による付加価値も産まれる
4落とした場合、割れるなどの問題発生
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