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素材特性集

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各種カーボン製品

CVD装置用パーツ
CVD装置用パーツの特徴は… やはり図面がないケースがほとんどですので、現物をお預かりしてサンプリングします。製品の特徴としてはウェハーに直接接触する国「の物や、間接的でもウェハーに与える影響が大きいので、パーティクルに対しての要求が厳しく、高純度のセラミック系の材質が頻繁に使用されます。加工品に平行度、平面度などの高精度な要求に加えて洗浄方法まで厳しい品質管理が要求されるのも、CVD装置部品の特徴です。いずれも弊社の培ったノウハウを生かせることができ、お客様のコストパフォーマンスの向上にお役に立てることを確信いたしております。

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