各種カーボン製品

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素材特性集

高純度材

高純度材の特徴は…　半導体業界のようにパーティクル（微小なゴミ）発生を嫌う環境で使用されるカーボン材は、ほとんどが高純度処理化されたものが使用されます。高純度処理を施されたカーボン材の不純物濃度は、カーボンメーカーごとに若干の差異はあるものの、20ppm以下に不純物を低減されています。（参考　1ppm＝100万分の1）

一般材の特徴は…　カーボン材（黒鉛）で一般材と呼ばれるものは、前述の高純度処理化のされていない材料のことをそう呼んでいます。不純物濃度（灰分）であらわすとだいたい100ppm〜200ppm程度のものがそう呼ばれます。　1ppm＝100万分の1ですから100ppm〜200ppmというのは、ﾊﾟｰｾﾝﾃｰｼﾞ（％）であらわすと0.01％〜0.02％になり、カーボン材の場合一般材であっても不純物濃度としてはたいへん低いことがわかります。

カーボン特殊材

カーボン特殊材の特徴は…　導体業界をはじめとした産業界でカーボンと一口で言った場合のほとんどがグラファイト（黒鉛）のことを示します。特殊材とはグラファイト（黒鉛）以外のカーボン材のことを示す（例：ｱﾓﾙﾌｧｽ状ｶｰﾎﾞﾝ、ｶﾞﾗｽ状ｶｰﾎﾞﾝなど）ことが多いようですが、様々な分野で活躍するようになったｶｰﾎﾞﾝ繊維品（FRP）のことを特殊材と呼んだりすることもあります。その他に樹脂、金属、ｾﾗﾐｯｸｽといったｶｰﾎﾞﾝ以外の材料と組み合わせることできるｶｰﾎﾞﾝ複合材を特殊品と呼ぶ場合もあります。ｶｰﾎﾞﾝと組み合わせることで様々な特性をもち合わせることができます。

各種カーボンコート

各種カーボンコートの特徴は…　カーボンはその特性から使用される環境のほとんどが非常に高い温度条件であることが多く、耐熱性、耐プラズマ性、耐酸化性がいつも問題になります。非酸化雰囲気ではたいへんな耐熱性をカーボンですが、実際は完璧に酸素を遮断したりすることは難しかったり、プラズマ環境下でビームを長時間当てられ続けますと、どうしても劣化がおこります。これらの問題を解決するために、カーボンの特徴をいかしながら表\\\面へいろいろなコーティングを施して耐久性の向上を目指します。

イオン注入装置用パーツ

イオン注入装置用パーツの特徴は… フジサービスの特徴は何といっても図面も無い、材質もわからいといった製品についてのパフォーマンスアップの相談です。そんな要求のなかで最も取扱い量の多いものがこのインプラ関係の部品です。部品に使用される材料はカーボン、レアメタル、セラミックとあらゆる範疇に及びます。共通している製品への要求事項としては、ビームに対しての消耗度アップ、コンタミ防止、メンテナンス性の向上などがあげられます。。弊社ではお客様ごとに独自の対応をさせていただいております。コストパフォーマンスに対する考え方、取り組み方はお客様ごとに違いますので、十分な御打合せをさせていただくことが、最終的なコストダウンへつながっていくものと弊社では考えております。蓄積した豊富な材料データと材料ごとの加工ノウハウで、御社のコストパフォーマンスアップに存分にご利用いただければと願っております。

CVD装置用パーツ

CVD装置用パーツの特徴は…　やはり図面がないケースがほとんどですので、現物をお預かりしてサンプリングします。製品の特徴としてはｳｪﾊｰに直接接触する国｢の物や、間接的でもウェハーに与える影響が大きいので、パーティクルに対しての要求が厳しく、高純度のセラミック系の材質が頻繁に使用されます。加工品に平行度、平面度などの高精度な要求に加えて、洗浄方法まで厳しい品質管理が要求されるのも、CVD装置部品の特徴です。いずれも弊社の培ったノウハウを生かせることができ、お客様のコストパフォーマンスの向上にお役に立てることを確信いたしております。

ハーメチック作業

ハーメチック作業の特徴は…　ハーメチック作業の内容は各メーカーごとに条件がことごとく違います。部品にしてもﾆｯｹﾙｺ合金、ｺﾊﾞｰﾙなどを中心とした金属製品も多種多様に存在します。ﾊｰﾒﾁｯｸの基本であるｶﾞﾗｽ材の種類も膨大です。ｶﾞﾗｽにより焼成温度も違ってきます。使用するリード線の形状、材質の種類もきりがありません。製品に要求される性能も一様ではありません。ﾊｰﾒﾁｯｸ技術のノウハウは中々体系だてて継承されておらず、良くも悪くも現場の職人技（経験、カンなど）で支えられてきている場合が意外と少なくありません。そんな優秀な職人さんがリタイアされたあと、意外とその基本的な技術が継承されていないケースに遭遇いたします。弊社はハーメチック技術をカーボン治具という、これまたハーメチック作業に不可欠ともいえる分野から支えて参りました。数多くの試作品の設計、製造上のトラブルなどをお客様とともに解決してきた実績がございます。単純なカーボン治具のお見積もりはもちろんですが、設計や開発を含めたご相談がございましたら、是非ご連絡くださいませ。

その他　半導体製造装置

その他　半導体製造装置とは　…　フジサービスで特徴的なのが、どの製造装置の部品なのか把握していないケース？　が多いということです。叱られてしまいそうですが、これは元々が現物をお預かりしてそれと同等、もしくはそれ以上の機能にして、しかも安価にご提供する　といったサービス業から始まったからにほかなりません。忠実な図面化と加工形状の再現、同時に行う材質の見直し。現場のお客様の声（使用条件、使用環境、希望コストなど）を聞きながら、コストパフォーマンスの追及をしてきた結果が現在のフジサービスの姿なのです。さすがに平成６年の設立から１４年が経過しており、どこの工程で使用される製品であるのかはおおよそ見当がつきますが、原点は変わっておりません。フジサービスの原点は材質のスペシャリストであり加工のスペシャリストでありコストパフォーマンス追及のスペシャリスト　であり続けることなのです。